第522章 服不服?
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入了一堆看不懂的指令,但别人不知道,他们却明白。
就刚才出故障时的那种情况,稍稍延缓个五秒,可能这台价值三亿的光刻机,可能至少要损失一半的零件。
这本事,服气!
“你是怎么知道会出故障的?”汪建国忍不住问道。
其他人也抬头看向萧阳。
到这个时候,他们基本上已经知道是哪里出问题了,无非就是温控系统,但到底是怎么出问题的,说实话他们现在依旧不知道。
更何况,机器还在安装,萧阳就断言会出问题,这份本事,到底是怎么做到的?
却见萧阳摇头道:
“其实很简单,无论是什么型号的光刻机,温度控制系统都存在,但不过因为每个规格的光刻机不一样,所以温控系统也有各自的区别。”
“你们的安装如果按照90nm规格来说的话不会有任何问题,但在32nm规格的机器上却出现了些许的误差,这一点在安装说明书上其实有提过,不过显然你们没有注意到,距离正常安装的位置,错过了超过1cm。
“1cm,也就是lOOnm。”
“接下来,还用我再说吗?”
话只说了一半,但在场所有人却都明白萧阳的意思,把头埋的更低了。
这台光科技,包含了10个分系统,两万多个机械部件,2 0 0多个传感器,而在如此庞大的机械结构构成的光刻机,需要的是每一台机器同步协调。
而如此庞大的机械组,想要稳定,就必须要做到精准。
一般来说,最好的安装师,误差不会超过2nm,而一般来说,10 nm就是极限,如果误差超过了lOOnm,那就是一场灾难。
引起灾难也必然顺理成章。
特别是最为重要的温控系统。
温度和空气压力变化会影响对焦,而且机器内部的机械件高速运转,就需要对温度进行实时控制和检测,温度需要始终维持在千分之五度,而且必须配备合理完善的冷却方式,精准的测温传感。
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入了一堆看不懂的指令,但别人不知道,他们却明白。
就刚才出故障时的那种情况,稍稍延缓个五秒,可能这台价值三亿的光刻机,可能至少要损失一半的零件。
这本事,服气!
“你是怎么知道会出故障的?”汪建国忍不住问道。
其他人也抬头看向萧阳。
到这个时候,他们基本上已经知道是哪里出问题了,无非就是温控系统,但到底是怎么出问题的,说实话他们现在依旧不知道。
更何况,机器还在安装,萧阳就断言会出问题,这份本事,到底是怎么做到的?
却见萧阳摇头道:
“其实很简单,无论是什么型号的光刻机,温度控制系统都存在,但不过因为每个规格的光刻机不一样,所以温控系统也有各自的区别。”
“你们的安装如果按照90nm规格来说的话不会有任何问题,但在32nm规格的机器上却出现了些许的误差,这一点在安装说明书上其实有提过,不过显然你们没有注意到,距离正常安装的位置,错过了超过1cm。
“1cm,也就是lOOnm。”
“接下来,还用我再说吗?”
话只说了一半,但在场所有人却都明白萧阳的意思,把头埋的更低了。
这台光科技,包含了10个分系统,两万多个机械部件,2 0 0多个传感器,而在如此庞大的机械结构构成的光刻机,需要的是每一台机器同步协调。
而如此庞大的机械组,想要稳定,就必须要做到精准。
一般来说,最好的安装师,误差不会超过2nm,而一般来说,10 nm就是极限,如果误差超过了lOOnm,那就是一场灾难。
引起灾难也必然顺理成章。
特别是最为重要的温控系统。
温度和空气压力变化会影响对焦,而且机器内部的机械件高速运转,就需要对温度进行实时控制和检测,温度需要始终维持在千分之五度,而且必须配备合理完善的冷却方式,精准的测温传感。